プラズマ処理を使った製造工程の開発や、製造現場でのプラズマ評価等をお考えの皆様に朗報です。

今回ご紹介する、プラズマインジケータ「PLAZMARK」はプラズマで変色する色材を用いた、プラズマ処理効果の確認用インジケータで、プラズマの処理に応じて段階的に変色し、プラズマの状態を「色で見える化」する事ができる製品です。

プラズマとは

プラズマとは固体・液体・気体につぐ、物質の第四状態と呼ばれており、身近なところでは、オーロラや稲妻等がプラズマです。

物質の温度を上げていくと固体から液体・気体へと状態が変化し、更に気体の温度をさらに上げたり、電界をかける事で「電離」が起こりますが、この中性分子、⊕イオン、⊖の電子が混在して非常に混沌と活性化した状態が「プラズマ」状態です。

プラズマ処理とは

プラズマ中は、反応性の高い粒子（ラジカル）が働くため、常温・常圧では進みにくい反応をすばやく進める効果があります。

また、電子やイオンやラジカルという極めて小さな粒子がそれぞれに働くため、ナノメートル（10億分の1メートル）単位の加工が可能に適しています。これによって、半導体の製造工程で数ナノメートル単位のエッチングや薄膜の形成が可能になるのです。

プラズマ処理評価の問題点

プラズマの診断には、分光計でプラズマ中の化学反応を計測したり、ラングミュアプローブでプラズマの物性値(密度等)を得るなどありますが、大掛かりな計測器を処理チャンバーに正しく設置する必要があり、また専用ソフトによる解析が必要になる為、ハードルが高くなります。

もしプラズマその物の計測ではなく、プラズマプロセスによる処理量を定量的に評価したいならば、今回ご紹介するプラズマインジケータ「PLAZMARK(プラズマーク)」が、お勧めです！

プラズマインジケータ「PLAZMARK」の特徴とは？

プラズマインジケータ PLAZMARK(プラズマーク)はラジカルやイオンを検知して変色する評価ツールです。高額な装置や熟練作業は不要です。

PLAZMARKの【特長】

①装置内に置くだけ、煩雑な機器操作は不要
②処理後、すぐに「色」で判断できる
③段階的に色が変化するため、面内分布を細かく評価できる
④高額な評価装置が不要なため、設備経費が軽減できる

⑤評価時間が短縮でき、総合的な生産性の向上が期待できる

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プラズマーク活用シーン

活用シーン① プラズマ処理効果の確認

装置内各所でプラズマが当たっているかどうかを確認します。

活用シーン② 従来評価方法からの置き換え

手間がかかる従来評価方法からの置き換えで評価工程の効率化をはかります。

活用シーン③ 面内分布の確認

プラズマの均一性、分布を確認します。

活用シーン④ プラズマの広がりを確認

周辺へのプラズマの影響を確認します。

活用シーン⑤ 装置間の性能差の確認

同型装置、同一プロセス装置の処理効果を確認、機差を評価します。

新発売！待望のウエハ型メタルフリータイプ

半導体前工程のウェハー評価用には、メタルフリーの製品も新発売しました！表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用しており、基板には標準規格のシリコンウエハを使用。半導体前工程での利用を想 定しクリーンなプロセスで利用できるよう設計しております。ご使用中の基板そのものと同じ形状のインジケータとなっておりますので、普段と 同じハンドリングで装置に設置することができ、プラズマの照射強度だけでなく、ウエハ全面の面内分布を可視化することができます。

ウエハ型メタルフリータイプの特長

■金属元素をできるだけ排除した設計
■表面のインジケータ膜は有機系の材料を利用
■4インチ、6インチ、8インチと12インチのサイズをご用意

　如何でしたでしょうか？　

無料サンプルもご用意可能ですので、

是非一度お試しください。

お問合せをお待ちしております！